根據(jù)以上原理，X射線熒光光譜儀的核心結(jié)構(gòu)為激發(fā)源和探測器，其中，激發(fā)源是激發(fā)元素產(chǎn)生特征X射線的構(gòu)件，有帶電粒子激發(fā)、電磁輻射激發(fā)、內(nèi)轉(zhuǎn)換現(xiàn)象和核衰變等方式，而常用的激發(fā)源是電磁輻射激發(fā)，探測器是將X射線熒光的能量和強(qiáng)度轉(zhuǎn)化成一定形狀和數(shù)量的電脈沖，實(shí)質(zhì)上就是一個能量→電量的傳感器，常用的探測器有正比計數(shù)器、閃爍計數(shù)器和半導(dǎo)體計數(shù)器。
 

　　由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:波長色散型和能量色散型。下面我們就來詳細(xì)了解下X射線熒光光譜儀的結(jié)構(gòu)組成。
 

　　1、X射線管

　　X射線熒光光譜儀工作需要用X射線管作為激發(fā)光源。X射線管產(chǎn)生的一次X射線，作為激發(fā)X射線熒光的輻射源。只有當(dāng)一次X射線的波長稍短于受激元素吸收限lmin時，才能有效的激發(fā)出X射線熒光。

　　X射線管的靶材和管工作電壓決定了能有效激發(fā)受激元素的那部分一次X射線的強(qiáng)度。管工作電壓升高，粘度的主要決定是密封性短波長一次X射線比例增加，故產(chǎn)生的熒光X射線的強(qiáng)度也增強(qiáng)。X射線管產(chǎn)生的X射線透過鈹窗入射到樣品上，激發(fā)出樣品元素的特征X射線，正常工作時，X射線管所消耗功率的0.2%左右轉(zhuǎn)變?yōu)閄射線輻射，其余均變?yōu)闊崮苁筙射線管升溫，因此必須不斷的通冷卻水冷卻靶電極。
 

　　2、分光系統(tǒng)

　　分光系統(tǒng)的主要部件是晶體分光器，它的作用是通過晶體衍射現(xiàn)象把不同波長的X射線分開。分光晶休靠一個晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動。因?yàn)樵嚇游恢檬枪潭ǖ?，為了檢測到波長為λ的熒光X射線，分光晶體轉(zhuǎn)動θ角,檢測器必須轉(zhuǎn)動2θ角。目前的X射線熒光光譜儀備有不同晶面間距的晶體，用來分析不同范圍的元素。
 

　　3、檢測記錄系統(tǒng)

　　X射線熒光光譜儀用的檢測器有流氣正比計數(shù)器和閃爍計數(shù)器。它主要由金屬圓筒負(fù)極和芯線正極組成,筒內(nèi)充氬(90%)和甲烷(10%)的混合氣體，X射線射入管內(nèi)，使Ar原子電離,生成的Ar+在向陰極運(yùn)動時，又引起其它Ar原子電離，雪崩式電離的結(jié)果，產(chǎn)生一脈沖信號，脈沖幅度與X射線能量成正比。所以這種計數(shù)器叫正比計數(shù)器，為了保證計數(shù)器內(nèi)所充氣體濃度不變，氣體一直是保持流動狀態(tài)的。流氣正比計數(shù)器適用于輕元素的檢測。

　　以上就是X射線熒光光譜儀基本組成結(jié)構(gòu)的詳細(xì)介紹，供大家參考，希望給您有所幫助！